光学微电子行业净化工程设计方案分析对于常规电子厂房洁净室空调的设计，应根据电子厂房的生产工艺要求及甲方的经济条件来选用哪种空调设计方案，以满足生产工艺的要求作为前提。根据以往经验，对于要求高的可以选用组合式空气处理机组集中处理的空调方案；对于要求不高的，又要初投资低的，可以选用柜机 FFU。总之，具体的方案选择根据具体情况而定。
万级净化车间使用的净化设备主要有净化工作台、风淋室、过滤器、通风柜、生物安全柜和传递窗等，并提供各种实验室装备和水处理系统。进入洁净车间之前，应先去进入缓冲区，缓冲区门安装电子互锁，更衣处放置洁净储衣柜。人和货物进入万级净化车间须经过风淋室、货淋室，食品车间净化，传递窗主要用于传递小物品。万级净化车间的装修施工，应按照设计方案的要求，净化车间，满足生产工艺的需求，处理好洁净区域与其他相关辅助区的关系。同时，在施工过程中，必须确保万级净化车间清洁、易清扫，防止内外污染，防止微粒产生、滞留和积存。
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