光学微电子净化工程一般包括：洁净生产区洁净辅助间(包括人员净化用房、物料净化用室和部分生活用室等)风淋室管理区(包括办公、值班、管理和休息等)设备区(包括净化空调系统应用、电气用房、高纯水和高纯气用房、冷热设备用房)光学微电子净化工程净化原理气流→初效空气过滤器净化→空调→中效空气过滤器净化→风机送风→管道→空气过滤器净化风口→吹入房间→带走尘埃细菌等颗粒→回风百叶窗→初效空气过滤器净化重复以上过程，即可达到净化目的。
十万级无尘净化车间，按照相关标准规定，无尘车间净化工程，每立方米空气中，尘埃粒子数不超过三十五点二乘以十万，换气次数一般按照每小时15-20次，适合对空气洁净等级要求较低的生产场合。十万级无尘净化车间在工艺处理措施上，要求空调系统必须是经过初、中、高三级过滤处理的净化空调系统，从而保证送入室内的空气是洁净空气，能对室内污染空气进行稀释。
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