光学微电子净化工程一般包括:洁净生产区洁净辅助间(包括人员净化用房、物料净化用室和部分生活用室等)风淋室管理区(包括办公、值班、管理和休息等)设备区(包括净化空调系统应用、电气用房、高纯水和高纯气用房、冷热设备用房)光学微电子净化工程净化原理气流→初效空气过滤器净化→空调→中效空气过滤器净化→风机送风→管道→空气过滤器净化风口→吹入房间→带走尘埃细菌等颗粒→回风百叶窗→初效空气过滤器净化重复以上过程,即可达到净化目的。
随着科学技术和各种产品生产工艺的日新月异的发展,洁净室的建造对空气过滤器尤其是过滤器提出了更高的要求,如要求对0.05-0.1weimi5的过滤效率、甚至0.01μm的过滤效率达到7个8个9,即被称为超ULPA的过滤器;要求在额定风量下的过滤器阻力小于50Pa;沉积在滤料上的微粒不允许再飞散的可能;过滤器的使用寿命应在5年以上,并且废弃的过滤器容易处理等。
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