光学微电子净化工程之定义为将一定空间范围内之空气中的微尘粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温湿度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音震动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给于特别设计之密闭空间。光学微电子净化工程亦名无尘室或清净室,目前已是半导体、精密制造、液晶制造、光学制造、线路板制造和生物的化学、食品制造等行业不可或缺的重要设施。近几年来,由于技术之创新发展,对于产品的高精密度化、细小型化之需求更为迫切,如超大型积体电路之研究制造,已成为在科技发展上极为重视的项目,而我公司的设计理念及施工技术在行业中则处于地位。
万级净化车间使用的净化设备主要有净化工作台、风淋室、过滤器、通风柜、生物安全柜和传递窗等,并提供各种实验室装备和水处理系统。进入洁净车间之前,应先去进入缓冲区,缓冲区门安装电子互锁,更衣处放置洁净储衣柜。人和货物进入万级净化车间须经过风淋室、货淋室,传递窗主要用于传递小物品。万级净化车间的装修施工,应按照设计方案的要求,满足生产工艺的需求,处理好洁净区域与其他相关辅助区的关系。同时,在施工过程中,必须确保万级净化车间清洁、易清扫,防止内外污染,防止微粒产生、滞留和积存。
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